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技 術
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・クリーンルームでの生産と研究 クリーンルームは、清浄度を保つための密閉された空間です。 そこで、生産、研究などの活動を行うため、合理的に関連施設のレイアウトと動線計画を行いました。 エアシャワー、室圧制御などのバリアシステムによってクロスコンタミネーションを避け、清浄度と作業性を両立させ、維持しますのでサブミクロン粒子など、お客様のニーズに合致した生産を行うことが出来ます。 【クリーンルームの4原則】 1. 微粒子を持ち込まない 2. 微粒子を排除する 3. 微粒子を発生させない 4. 微粒子を堆積させない |
![]() <クリーンルーム施設への入口> |
← クリーンルームへの入り口で、下履きから専用上履きに履き替えます。 → 中部屋から更に前室でクリーン室内専用靴に再び履き替え、専用のクリーンウエア(無塵服)を装着します。 |
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<クリーンルーム前室入口> |
![]() <クリーン粘着マット> ↑ クリーンルーム内へのチリやホコリの侵入を未然に防ぐ為、クリーン粘着マットを通過することで、靴底の清掃をしエアシャワールームに入ります。 |
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← 作業者(人間)がクリーンルームへ入る際、必ず清浄空気(エアシャワー)を浴びて塵埃を落としてから入室します。 高速気流振動型フラッタージェットノズルで頭上や左右側面からの清浄空気は除塵能力が優れています。 |
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<清浄空気(エアシャワー)室内> | |||
← 天井部へ設置されたクリーンファンから取り込まれた空気を室内に継続的に送り込み、内部気圧を高めながら下部よりチリやホコリを室外へ放出します。 【クリーンルーム施設】 1. 作業室・・・・・6室 2. 実験室・・・・・1室 3. 洗浄室・・・・・1室 4. 倉 庫・・・・・1室 |
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<作業室内> | |||
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